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光刻巨人:ASML崛起之路-天生的工程师

时间:2021-02-22 07:18来源:海猎人

  天生的工程师

  Natlab的工程师赫尔曼·范希克(HermanvanHeek)和吉斯·布休斯(GijsBouwhuis)在同一办公室工作,他们对芯片生产过程中产生的浪费感到震惊。如果有人能欣赏到光刻中的工程技术,那么这个人就是哈斯霍西姆·梅耶。就像弗里茨·克洛斯特曼和爱德·鲍尔一样,梅耶知道亲手打造一些东西意味着什么。当卡西米尔在1964年任命他为主任时,多面手梅耶好奇地打量着他周围的机械和光学领域中的那些奇迹。空气轴承、静压轴承和亨德里克·德朗的光学测量系统:这是一座充满精密技术的金矿。梅耶很欣赏弗里茨·克洛斯特曼和爱德·鲍尔利用Natlab的发明制造出用于生产光掩模的机器。在20世纪60年代末,梅耶利用职权重组了各科研团队。他把光刻技术从光化学小组转移到光学小组。他安排克洛斯特曼领导开发光导摄像管的小组。1969年11月1日,赫尔曼·范希克和吉斯·布休斯接手了克洛斯特曼原来的工作。布休斯在德朗的光学小组已工作多年,但对范希克来说,光学是一个全新的领域。他们将一起为实验室的掩模生产团队提供科学支持。在1969年的最后几个月里,两人没有碰到新的大挑战,其主要工作是关注掩模部门日常提出的问题。在那段时间里,团队里的10个女人和3个男人忙着为电路板、阴极射线管和芯片制作掩模,因为对当时掩模的需求很旺盛。

  赫尔曼·范希克来自一个在纺织业赚了些钱的荷兰家庭。年轻的范希克在阿姆斯特丹长大,后来搬到莱顿,他的父亲在那里找到了一份社会学教授的工作。范希克的发明家基因来自他的母亲。他母亲的家人里有3位工程师,其中包括著名的教授费利克斯·万宁·梅恩兹(FelixVeningMeinesz)——用于测量重力的光学仪器的发明者。范希克在莱顿的大学学习物理,最后在卡末林·昂内斯实验室从事低温研究工作。他的8位前辈中有7位在飞利浦找到了工作,所以他在实验室工作结束后自然而然地给飞利浦在艾恩德霍芬的人力资源部打了电话。飞利浦人力资源部不久后便安排他与Natlab的各位总监面谈。1964年,他开始在Natlab工作。克洛斯特曼是一名遵守纪律、一丝不苟的研究人员,留着披头士发型的范希克在生活中则随性快活得多。在飞利浦的头5年里,范希克发现自己对科学研究没有太大的兴趣,他不仅对Natlab的一些研究人员抢占地盘的热潮不感兴趣,反而心生反感。与克洛斯特曼不同,范希克对层级不甚看重,他也不关心地位。这可能是因为,作为一个富二代,他早已习惯了富人的圈子。这位刚毕业的研究人员在飞利浦任职初期就参加了一项针对年轻学者的活动,当他正在自助餐会上忙着往盘子里放食物时,首席执行官弗里茨·飞利浦先生认出了他。“范希克,我听说你家的工厂已经破产了。”这位飞利浦的继承人在排队时喊道。整个房间的人都听到了他的声音,但范希克并没有失去冷静。“工厂没有破产,”他回呛这位飞利浦的继承人,“我的家人自己决定要停产,但我们的纺织公司已经持续了8代人,让我们看看你的公司能活多久。”

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